JJF（沪） 59-2018 微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范.pdf
文档页数：16文档大小：18.81MB文档格式：pdfJJF(沪) 上海市地方计量校准规范 JJF(沪)59一2018 微纳米台阶高度（深度）标准样板 校准规范 Calibration Specification forMicro/Nano-Step Height/DepthStandards 2019一2一1发布 2019一3一1实施 上海市市场监督管理局发布 1 JJF(沪)59-2018 微纳米台阶高度（深度） 标准样板校准规范 Calibration Specification JJF(沪)59一2018 forMicro/Nano-Step Height/DepthStandards 归口单位：上海市市场监督管理局 主要起草单位：上海市计量测试技术研究院 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 参加起草单位：中国计量科学研究院 上海交通大学 本规范由上海市计量测试技术研究院负责解释 ...
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