GB/T 43972-2024 集成电路封装设备远程运维 状态监测.pdf
文档页数：23文档大小：6.06MB文档格式：pdfICS31.260 CCS L 97 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T43972—2024 集成电路封装设备远程运维 状态监测 Remote operation and maintenance of integrated circuit packaging equipment-Status monitoring 2024-04-25发布 2024-11-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T43972-2024 目 次 前言 Ⅲ 引言 1范围 .1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 ......1 4缩略语 1 5状态监测系统架构 2 6状态监测主要流程2 7监测对象 ...3 7.1设备 7.2运行环境3 8数据采集 9监测前置条件设定4 9.1监测参数特征 4 9.2状态监测参数分类4 9.3监测方法选择 9.4参数测量间隔 .6 10状态监测过程6 10.1状态监测过程要求 6 10.2状态监测信息发布6 10.3预警值和报警值的确定 7 附录A(资料性)典型集成电路封装设备状态监测参数详细信息8 A.1设备基本信息监测参数详细信息8 A.2设备运行状况监测参数详细信息8 A.3设备工艺监测参数详细信息 8 A.4设备关键部件监测参数详细信息10 A.5设备运行环境监测参数详细信息12 I 54 ...
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