GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝.pdf
文档页数：10文档大小：2.42MB文档格式：pdfICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T36653-2018 电子级三甲基铝 Electronic grade trimethylaluminium 2018-09-17发布 2019-01-01实施 国家市场监督管理总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T36653-2018 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰. I GB/T36653—2018 电子级三甲基铝 1范围 本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全. 本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝.该产品主要 用于生长化合物半导体薄膜材料等. 分子式：C3H A1 相对分子质量：72.09（按2013年国际相对原子质量计算） 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T6680液体化工产品采样通则 GB/T11446.1电子级水 GB12463危险货物运输包装通用技术条件 GB15258化学品安全标签编写规定 GB15603常用化学危险品贮存通则 GB50073洁净厂房设计规范 3技术要求 三甲基铝的技术指标应符合表1要求. 表1技术指标 项目 指标 三甲基铝(C2H A1)纯度（质量分数）/10-2 ≥ 99.99995 银(Ag)含量/(pg/g) < 0.2 硼(B)含量/(pg/g) < 0.5 钡(Ba)含量/（μg/g) < 0.1 金属元素 铍(Be)含量/(ug/g) < 0.03 及其他元 素含量 钙(Ca)含量/（μg/g) < 0.03 (Cd)含量/(pg/g) < 0.1 钴(Co)含量/（μg/g) < 0.1 铬(Cr)含量/（g/g) < 0.1 1 ...
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