SJ/T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范.pdf
文档页数：9文档大小：3.78MB文档格式：pdfICS29.045 H83 备案号：50562-2015 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11505—2015 蓝宝石单晶抛光片规范 Sapphire single crystal polished wafers specification 2015-04-30发布 2015-10-01实施 N24 102 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11505—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009制定的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、 合肥晶桥光电材料有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、 天通电子控股股份有限公司. 本标准主要起草人：何秀坤 付雪涛. INDUSTRY MACHNO SJ STANDARDS 1 SJ/T11505—2015 蓝宝石单晶抛光片规范 1范围 本标准规定了衬底和红外探测器窗口用蓝宝石单品抛光片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、 包装、运输和贮存等内容. 本标准适用于泡生法和直拉法生长的蓝宝石单晶抛光片，其它方法生长的蓝宝石单晶抛光片也可参 照本标准. 2规范性引用文件 TRY AND INFORMAT 下列文件对于文的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件， 所期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的明文件最额版本（包括的修改单用无本文 GB/T1555 体单晶岛问区衍射测定方法 GB/T2828 逐批检查计女抽样程序及抽样表 GB/T 661 正片度和和总摩度变化测试方法 GB/T6619 破片弯曲测 GB/T6621人硅抛光片表面平整度测试方法 GB/T6624抛光片表量目测检验方法 GB/T14140破片直径测量方法 GB/T14264 得体材料术语 SJ/T11396 袋家装发光二极管监宝石衬底片 SJ/T20387 红外 测零用蓝宝石窗口性能试验方法 3术语和定义 ty GB/T14264 界定的术语和定 ANDARDS 4要求 4.1衬底抛光片 蓝宝石单晶衬底抛光片的要求见SJ/T11396. 4.2窗口抛光片 4.2.1材料 蓝宝石窗口所用材料为蓝宝石单晶，其化学组成为a-Al2O3 蓝宝石单晶性能应符合如下要求： a)纯度应不低于99.995%： b)衍射摇摆曲线半峰宽度应不大于15弧秒： 1 ...
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