中建三局《大型电子洁净厂房高效建造关键技术经验交流》.pdf
文档页数：65文档大小：23.32MB文档格式：pdf中建三局集团有限公司 名企内部资 大型电子洁净厂房高效建造 关键技术经验交流 名企内部资 部资料库 敢為天下先永透争第.
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前言 近年来，大型电子洁净厂房陆续建设并投入使用，相关建造技术不断创新.
名企内部资料 料库 重庆惠科金渝光电（28万m） 武汉国家存储器基地（34万㎡） 深圳华星光电G11（60万㎡） 口口 部资料库 名企内 中建三局集团有限公司 名企 内部资料库
前言 【洁净厂房的概念】 名企内部资料 洁净厂房的概念及用途 洁净厂房也叫无尘车间、洁净室（CleanRoom）、无尘室，是为达 到对操作人员健康的保障，或者对精密操作所处环境条件的最优控制，而 建造的经过专门设计的房间.
可以将厂房空间范围内的微粒子、有害空气、细菌等污染物全部排除， 还可以根据自身的实际需要，将房间里的温度、压力、气流速度、气流分 布、噪音振动及照明、静电等设置在某一需求范围之内，并且不受外部空 气条件影响.
主要用于手术室、制药、电子、玻璃的真空镀膜（LOW-E玻璃的制 造）、生物制药（菌株菌种制备）等.
洁净厂房的形式 根据结构形式，可以分为土建结构和装配式这两种形式，不同的形式 适合不同的需要，而且有着不同的条件和要求.
一般来讲在实际工作中， 土建结构这种方式更为多见，主要因为造价比较便宜，而且有一定的效果.
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前言 【洁净厂房的构造示意】 企内部资料 挂立过进风南 水泥覆盖 Fab 高第地板 防水保温 静压箱 生产车间 天花吊顶系统 钥结构 架子格 风市 数环境 排风康 Sub-Fab (Gss 1.3) 技术支持层 Chamber 回风静压空间 Shaft 回风井道 MAU 组合式新风机组Make-upAirUnit FFU 风机过滤单元FanFiherUnit 特珠气体气柜 工艺原料供应主管牌 洗语塔 DCC 补充气体 工艺真空管路 风区 工艺原料主供应系统 人员操作区 干盘管DryCoolingCoil 钢结构 无尘电器 中建三局集团有限公司 内部资料库
前言 【洁净维持原理】 名企内部资料 Chamber Fan Filter Unit 回风静压室 风机过滤单元 Cleanroom Shaft 洁净室 回风井道 Duct Fab 风管 生产层 部资料库 Chamber 回风静压室 AHU Sub-Fab 空调机 下技术层 Cooling Coil 口口 干式冷盘管 部资料库 中建三局集团有限公司 名企 内部资料库
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