T/ZSA 72-2019 碳化硅单晶.pdf
文档页数：54文档大小：4.46MB文档格式：pdfICS29.045 H80/84 团 体 标 准 T/ZSA72-2019 碳化硅单晶 Monocrystalline Silicon Carbide 2019-12-31发布 2020-03-01实施 中关村标准化协会发布 T/ZSA72-2019 目 次 前言.. Ⅲ 引言… IV 1范围…. 2规范性引用文件 3术语和定义…… 1 4产品分类 2 4.1分类…. 4.2牌号… 2 4.3规格.…. 2 5技术要求. 5.1直径及允许偏差…… 2 5.2电阻率… 3 5.3参考面取向和位置 5.4参考面长度 3 5.5晶向及正交取向偏离 3 5.6晶型… 5.7晶体完整性 3 5.8高纯半绝缘晶体的体杂质含量 4 6试验方法 4 6.1直径… 5 6.2电阻率 5 6.3晶向 5 6.4参考面取向 5 6.5参考面长度 5 6.6晶型 5 6.7晶体完整性 5 6.8高纯半绝缘晶体的体杂质含量 5 7检验规则 7.1检验与验收 5 7.2检验批 5 7.3检验项目 7.4抽样 6 7.5等级判定… 6 7.6不合格品处置 6 7.7检验条件 6 8标志、包装、运输和贮存… 6 8.1标志、合格证与质量保证书 6 I T/ZSA72-2019 8.2产品装箱 .7 8.3储存和运输…… …..7 附录A(规范性附录)碳化硅单晶牌号规定 附录B(资料性附录)碳化硅晶片拉曼光谱检测方法 ….9 附录C(资料性附录)碳化硅晶片摇摆曲线检测方法…… .12 附录D(资料性附录)碳化硅晶片位错密度检测方法 15 ...
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