GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性.pdf
文档页数：22文档大小：7.08MB文档格式：pdfICS13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.14-2022/ISO14644-14:2016 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO14644-14:2016 IDT) 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.14-2022/ISO14644-14:2016 目 次 前言 Ⅲ 引言 …… … IV 1范围……… ……1 2规范性引用文件…………… ……………1 3术语和定义………………… …………………………………1 4评估大纲……… ………2 5目视检查………… ………………3 6悬浮粒子浓度测量的适用性评估 ………………………3 7记录 ………8 8设备的洁净室适用性的表述………10 附录A(资料性)测试数据处理示例………………………………………11 附录B(资料性)可选测试…… …………………15 17 参考文献 ...
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