SJ/T 11628-2016 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法.pdf
文档页数：10文档大小：8.37MB文档格式：pdfICS77.040 H21 备案号： SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11628—2016 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征 在线测试方法 Online test methods for geometry and electrical characterizations of silicon wafers for solar cells 2016-04-05发布 2016-09-01实施 SJ 中华人民共和国工业和信息化部 发布 2016 9 SJ/T11628—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)提出. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口. 本标准起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、浙江 精功科技股份有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展限 本标准主要起草人：江波涛 东 国军 徐宾、薛抗美、黄黎 USTR CHIN SJ STANDARDS I SJ/T116282016 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法 1范围 本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）尺寸及电学表征的非接触在线测试方法. 本标准适用于太阳能电池用硅片的尺寸及电学表征在线测试，如应用于其他样品或参数，需经相关 各方协商. 2规范性引用文件 AND INFORM 下列文件对于本文的 是 必不可少的.凡是注日期的引用文件狼注期的版本适用于本文件. 凡是不注日期的引用文件其最新版本（包括的修改单）适用于文 GB/T14264 X 导体材料术语 GB/T26068 方载流子复合寿命的无接触徽波反射光电导减测试方法 GB/T3086 太阳能电池硅片厚度及总厚度变化测试方法 SJ/T11621 天阳能电池 片电阻率在线测试方法 SJ/T11630 阳能电池用建烧月尺海试方法 3术语和定义 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件 4方法提要 4.1几何尺寸拍照法 在成像系统固定不变的情况下 物体及其图像的儿何尺 固定的一一对应关系.采用相机获 取硅片的图像，通过已经标定好的上述对应 分 所获得的硅片图像即可推算出所测硅片的边长、 对角线长度、邻边垂直度的几何尺寸参数.根据拍摄方法的不同，可将测量用的相机分为阵列式相机和 线性相机两种.其中，阵列式相机拍摄图像时要求硅片作短暂的停顿，线性相机则可直接拍摄运动状态 下的硅片. 4.2厚度及总厚度变化电容法或光学法 测量探头是利用电容式、光学式等非接触技术测量探头和硅片表面之间相对距离的传感器，成对的、 分别位于硅片上方和下方的探头可以测量出硅片上、下表面相对于同一侧探头的距离.由已知的探头间距 可以计算出硅片被测点当前的厚度.当硅片匀速穿过该测试位置时，测量探头在硅片上的测量位置形成一 条扫描路径，最后给出硅片在扫描路径上的若干厚度值，由其中的最大值减去最小值可得到总厚度变化值. 4.3导电类型表面光电压法 当光照射半导体时，会产生非平衡载流子，从而改变半导体材料表面相对于体内的电势.光照前后 1 ...
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