SJ/T 10552-2021 电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法.pdf
文档页数：6文档大小：2.19MB文档格式：pdfICS31.030 L90 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T10552—2021 代替SJ/T10552-1994 电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分 析方法 Method of emission spectrochemical analysis of impurities in TiO2 for use in electron ceramics 2021-03-05发布 2021-06-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T10552—2021 前言 本标准按照GB/T1.1一2009制定的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准代替SJ/T10552一1994《电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法》，本标准与SJ/T 10552一1994相比，主要有如下变动： —按GB/T1.1一2009规定的格式进行了修改. —将光谱干板由国产I型改为国产Ⅱ型.（见3.17，SJ/T10552一1994的3.9） 一删除了“米吐尔——海德路显影液和定景影液”中的“米吐尔——海德路”.（见3.18，SJ/T 105521994的8.T)1 AINL 一“交流电弧发生器修改为“直流电弧发生器” ORME ●见 SJ/T10552-1994的4b) ——仪器设备中增加子马弗炉、烘箱.（见4.9 4.10） 一分析步骤中增加了预曝光时间.（见6.2） 本标准由全圈半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并口 SJ 本标准起草单位：中国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：张旭、张理、装会川 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： SJ/T10552 ■1994 STANDARDSJ ...
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