SJ/T 11865-2022 功率器件用150 mm n型碳化硅衬底.pdf文档页数：13文档大小：1.74MB文档格式：pdf ICS29.045 CCS H83 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11865—2022 功率器件用中150mmn型碳化硅衬底 150 mm n-type silicon carbide substrate for power devices 2022-10-20...
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