GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范.pdf文档页数：5文档大小：467.9KB文档格式：pdf ICS29.045 H80 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T16596—2019 代替GB/T16596一1996 确定晶片坐标系规范 Specification for establishing a wafer coordinate system 2019-03-25发布 2020-02-...
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