激光干涉仪线性测量与回转轴校准（图文并茂）附件大小：6.79MB附件格式：1个直链文件，格式为ppt 资源简介：内容摘要：一、基本概念什么是激光干涉仪？激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何...
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