GB/T 12963-2022 电子级多晶硅.pdf
文档页数：7文档大小：1.28MB文档格式：pdfICS29.045 CCS H 82 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T12963-2022 代替GB/T12963—2014 电子级多晶硅 Electronic-grade polycrystalline silicon 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T12963-2022 前 言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件代替GB/T12963一2014《电子级多晶硅》，与GB/T12963一2014相比，除结构调整和编辑 性改动外，主要技术变化如下： a)更改了适用范围（见第1章，2014年版的第1章）； b)更改了牌号要求（见4.1 2014年版的4.1.1）； c)更改了产品等级（见4.2 2014年版的4.1.2）； d)更改了不同等级电子级多晶硅的技术指标（见5.1 2014年版的4.2）； e)更改了结构要求（见5.3 2014年版的4.4）； )更改了试验方法的内容（见第6章，2014年版的第5章）； g)更改了检验项目的要求（见7.3 2014年版的6.3）； h)更改了取样及制样的内容（见7.4.1 2014年版的6.4.1）； i)更改了氧含量的检验结果判定（见7.5.2 2014年版的6.5.1）； j)更改了标志的内容（见8.1 2014年版的7.1）； k)更改了随行文件的内容（见8.5 2014年版的7.5）. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位：江苏鑫华半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青 海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、有研半导体硅材料 股份公司、麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有 限责任公司、新特能源股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、宜昌 南玻硅材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、东方电气（乐山）峨半 高纯材料有限公司. 本文件主要起草人：田新、蒋文武、赵培芝、万首正、李素青、秦榕、王彬、孙燕、贺东江、陈卫群、宗冰、 徐岩、邱艳梅、李斌、刘晓霞、张遵、付绪光、董先君、潘金平、张园园、雷聪. 本文件于1991年首次发布，1996年第一次修订，2009年第二次修订，2014年第三次修订，本次为 第四次修订. GB/T12963-2022 电子级多晶硅 1范围 本文件规定了电子级多...
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