SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求.pdf
文档页数：17文档大小：8.83MB文档格式：pdfICS31.550 L95 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11762—2020 半导体设备制造信息标识要求 Requirements for semiconductor equipment manufacturing information tagging 2020-12-09发布 2020-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 S 2019 SJ/T11762—2020 目 次 前言… III 1范围... ....1 2规范性引用文件 ...1 3术语和定义 4设计及原则... 3 5半导体设各制造信息标识的使用 6 附录A(规范性附录)综合标 9 DUST IN SJ STANDARDS I SJ/T11762—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)提出并归口. 本标准起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导 体科技有限公司、北京京运通科技股份有限公司、中微半导体设备（上海）有限公司、北京京仪自动化 装备技术有限公司. 本标准主要起草人：冯亚彬、程朝阳、钟华 晓民、陈辉、王海涛、赵力行、张立眉. OFINDUSTRY SJ STANDARDS III ...
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